Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classification - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classification

Julien Ducote
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
Amine Lakcher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Laurent Bidault
Antoine-Régis Philipot
  • Fonction : Auteur
Bertrand Le-Gratiet
  • Fonction : Auteur
Alain Ostrovsky
  • Fonction : Auteur
Etienne Mortini
  • Fonction : Auteur
Uwe Behringer
  • Fonction : Auteur
Jo Finders
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01948100

Soumis le : vendredi 7 décembre 2018-13:59:44

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:34:10

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01948100 , version 1 (07-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01948100 , version 1

Citer

Julien Ducote, Amine Lakcher, Laurent Bidault, Antoine-Régis Philipot, Bertrand Le-Gratiet, et al.. Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classification. 34th European Mask and Lithography Conference, 2018, Grenoble, France. ⟨hal-01948100⟩

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