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Communication dans un congrès

Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classification

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01948100
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : vendredi 7 décembre 2018 - 13:59:44
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:28

Identifiants

  • HAL Id : hal-01948100, version 1

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Citation

Julien Ducote, Amine Lakcher, Laurent Bidault, Antoine-Régis Philipot, Bertrand Le-Gratiet, et al.. Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classification. 34th European Mask and Lithography Conference, 2018, Grenoble, France. ⟨hal-01948100⟩

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