Procédé de gravure autolimitant à base de niveaux multiples - Université Grenoble Alpes
Brevet Année : 2013

Procédé de gravure autolimitant à base de niveaux multiples

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01905068 , version 1 (25-10-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01905068 , version 1

Citer

O Desplats, T. Chevolleau, M. Darnon, C. Gourgon. Procédé de gravure autolimitant à base de niveaux multiples. France, Patent n° : DD 13 51606. 2013. ⟨hal-01905068⟩
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