Brevet
Année : 2013
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01905068
Soumis le : jeudi 25 octobre 2018-15:25:06
Dernière modification le : samedi 27 septembre 2025-19:03:32
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01905068 , version 1
Citer
O Desplats, T. Chevolleau, M. Darnon, C. Gourgon. Procédé de gravure autolimitant à base de niveaux multiples. France, Patent n° : DD 13 51606. 2013. ⟨hal-01905068⟩
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