Communication Dans Un Congrès
Année : 2021
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03448203
Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-09:22:01
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:59:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03448203 , version 1
Citer
Hachemi Mohammed Bilal. Physical and Electrical Properties of Hf0.5Zr0.5O2 Thin films RF sputtered by a HZO monotarget. EMRS 2021, May 2021, Grenoble, France. ⟨hal-03448203⟩
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