Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344561
Soumis le : lundi 4 novembre 2019-11:10:14
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:58
Citer
Jérôme Reche, Maxime Besacier, Patrice Gergaud, Yoann Blancquaert. Application of PSD for the extraction of programmed line roughness from SAXS. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII, Feb 2019, San Jose, United States. pp.28, ⟨10.1117/12.2514919⟩. ⟨hal-02344561⟩
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