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Communication dans un congrès

Application of PSD for the extraction of programmed line roughness from SAXS

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344561
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : lundi 4 novembre 2019 - 11:10:14
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:07

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Jérôme Reche, Maxime Besacier, Patrice Gergaud, Yoann Blancquaert. Application of PSD for the extraction of programmed line roughness from SAXS. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII, Feb 2019, San Jose, United States. pp.28, ⟨10.1117/12.2514919⟩. ⟨hal-02344561⟩

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