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Communication dans un congrès

The IMPACT Project : Merging academic research and 300mm industrial applications Quasi in situ advanced characterizations for Materials upfront studies and Process development in microelectronics

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02331976
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 24 octobre 2019 - 15:43:58
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:05

Identifiants

  • HAL Id : hal-02331976, version 1

Collections

UGA | CNRS | CEA | LTM

Citation

Bernard Pelissier. The IMPACT Project : Merging academic research and 300mm industrial applications Quasi in situ advanced characterizations for Materials upfront studies and Process development in microelectronics. XPS Workshop ThermoFisher, Jun 2019, Versailles, France. ⟨hal-02331976⟩

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