Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02331976
Soumis le : jeudi 24 octobre 2019-15:43:58
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:28
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02331976 , version 1
Citer
Bernard Pelissier. The IMPACT Project : Merging academic research and 300mm industrial applications
Quasi in situ advanced characterizations for Materials upfront studies and Process development in microelectronics. XPS Workshop ThermoFisher, Jun 2019, Versailles, France. ⟨hal-02331976⟩
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