Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor - Archive ouverte HAL

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Journal Articles Solid-State Electronics Year : 2013

Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor

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V. Deshpande

Function : Author
PersonId : 764991
ORCID : 0000-0003-3899-3573

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

S. Barraud

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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

X. Jehl

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PersonId : 172133
IdHAL : xavier-jehl
ORCID : 0000-0002-5342-9818
IdRef : 176333630

Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité

R. Wacquez

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CEA Tech en région Sud

M. Vinet

Function : Author
PersonId : 756257
ORCID : 0000-0001-6757-295X

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

R. Coquand

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Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

B. Roche

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Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité

B. Voisin

Function : Author

Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité

F. Triozon

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

C. Vizioz

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

L. Tosti

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

B. Previtali

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

P. Perreau

Function : Author

Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

T. Poiroux

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

M. Sanquer

Function : Author
PersonId : 172157
IdHAL : marc-sanquer
ORCID : 0000-0001-6055-4046
IdRef : 030485754

Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité

O. Faynot

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domains

Engineering Sciences [physics] Micro and nanotechnologies/Microelectronics

marc sanquer : Connect in order to contact the contributor

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02009777

Submitted on : Wednesday, February 6, 2019-3:38:04 PM

Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:53:09 PM

Dates and versions

hal-02009777 , version 1 (06-02-2019)

Identifiers

HAL Id : hal-02009777 , version 1

Cite

V. Deshpande, S. Barraud, X. Jehl, R. Wacquez, M. Vinet, et al.. Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor. Solid-State Electronics, 2013, 84, pp.179-184. ⟨hal-02009777⟩

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