Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue Solid-State Electronics Année : 2013

Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor

V. Deshpande
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
S. Barraud
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
X. Jehl
Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité
R. Wacquez
  • Fonction : Auteur
CEA Tech en région Sud
M. Vinet
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
R. Coquand
  • Fonction : Auteur
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
B. Roche
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité
B. Voisin
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité
F. Triozon
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
C. Vizioz
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
L. Tosti
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
B. Previtali
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
P. Perreau
  • Fonction : Auteur
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
T. Poiroux
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
M. Sanquer
Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité
O. Faynot
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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Soumis le : mercredi 6 février 2019-15:38:04

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Identifiants

  • HAL Id : hal-02009777 , version 1

Citer

V. Deshpande, S. Barraud, X. Jehl, R. Wacquez, M. Vinet, et al.. Scaling of Trigate nanowire (NW) MOSFETs to sub-7nm width: 300K transition to Single Electron Transistor. Solid-State Electronics, 2013, 84, pp.179-184. ⟨hal-02009777⟩

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