Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960827
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018-15:43:25
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01960827 , version 1
Citer
B. Pelissier, S. Labau, Jh. Tortai, J. Moeyaert, C. Beitia, et al.. Quasi in situ advanced characterizations for materials upfront studies and process development in microelectronic
The IMPACT Project : Merging academic research and industrial applications. NANOSCIENCES 2018, 26 Novembre 2018, Nov 2018, Barcelone, Spain. ⟨hal-01960827⟩
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