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Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Quasi in situ advanced characterizations for materials upfront studies and process development in microelectronic The IMPACT Project : Merging academic research and industrial applications

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960827

Soumis le : mercredi 19 décembre 2018-15:43:25

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:32

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Dates et versions

hal-01960827 , version 1 (19-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960827 , version 1

Citer

B. Pelissier, S. Labau, Jh. Tortai, J. Moeyaert, C. Beitia, et al.. Quasi in situ advanced characterizations for materials upfront studies and process development in microelectronic The IMPACT Project : Merging academic research and industrial applications. NANOSCIENCES 2018, 26 Novembre 2018, Nov 2018, Barcelone, Spain. ⟨hal-01960827⟩

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