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Communication dans un congrès

Quasi in situ advanced characterizations for materials upfront studies and process development in microelectronic The IMPACT Project : Merging academic research and industrial applications

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960827
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 15:43:25
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960827, version 1

Citation

B. Pelissier, S. Labau, Jh. Tortai, J. Moeyaert, C. Beitia, et al.. Quasi in situ advanced characterizations for materials upfront studies and process development in microelectronic The IMPACT Project : Merging academic research and industrial applications. NANOSCIENCES 2018, 26 Novembre 2018, Nov 2018, Barcelone, Spain. ⟨hal-01960827⟩

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