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Use of low energy ion scattering for the analysis of area selective ALD processes

Type de document :
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Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01959049
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 18 décembre 2018 - 14:07:20
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:33

Identifiants

  • HAL Id : hal-01959049, version 1

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Citation

T. Grehl, P. Brüne, C. Vallee, B. Pelissier. Use of low energy ion scattering for the analysis of area selective ALD processes. 18th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2018), Jul 2018, Incheon, South Korea. ⟨hal-01959049⟩

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