Use of low energy ion scattering for the analysis of area selective ALD processes - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2018

Use of low energy ion scattering for the analysis of area selective ALD processes

T. Grehl
  • Fonction : Auteur
P. Brüne
  • Fonction : Auteur
C. Vallee
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
B. Pelissier
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01959049

Soumis le : mardi 18 décembre 2018-14:07:20

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:24:17

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01959049 , version 1 (18-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01959049 , version 1

Citer

T. Grehl, P. Brüne, C. Vallee, B. Pelissier. Use of low energy ion scattering for the analysis of area selective ALD processes. 18th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2018), Jul 2018, Incheon, South Korea. ⟨hal-01959049⟩

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