Poster De Conférence
Année : 2018
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01959049
Soumis le : mardi 18 décembre 2018-14:07:20
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:24:17
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01959049 , version 1
Citer
T. Grehl, P. Brüne, C. Vallee, B. Pelissier. Use of low energy ion scattering for the analysis of area selective ALD processes. 18th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2018), Jul 2018, Incheon, South Korea. ⟨hal-01959049⟩
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