Block-copolymers performances improvement and design for DSA applications in microelectronic - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Block-copolymers performances improvement and design for DSA applications in microelectronic

X. Chevalier
  • Fonction : Auteur
Arkema
C. Nicolet
  • Fonction : Auteur
Arkema
G. Fleury
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique
P. Bezard
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
A. Legrain
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
C. Navarro
  • Fonction : Auteur
D. Jurajda
  • Fonction : Auteur
I. Cayrefourcq
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01958992

Soumis le : mardi 18 décembre 2018-13:33:32

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:42:00

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01958992 , version 1 (18-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01958992 , version 1

Citer

X. Chevalier, C. Nicolet, G. Fleury, M. Zelsmann, P. Bezard, et al.. Block-copolymers performances improvement and design for DSA applications in microelectronic. European Materials Research Society conference- E-MRS 2018, Spring Meeting, Jun 2018, Strasbourg, France. ⟨hal-01958992⟩

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