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Communication dans un congrès

Block-copolymers performances improvement and design for DSA applications in microelectronic

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01958992
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 18 décembre 2018 - 13:33:32
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01958992, version 1

Citation

X. Chevalier, C. Nicolet, G. Fleury, M. Zelsmann, P. Bezard, et al.. Block-copolymers performances improvement and design for DSA applications in microelectronic. European Materials Research Society conference- E-MRS 2018, Spring Meeting, Jun 2018, Strasbourg, France. ⟨hal-01958992⟩

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