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Communication dans un congrès

Graphoepitaxy integration and pattern transfer of lamellar silicon-containing high-chi block copolymers

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01954390
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 13 décembre 2018 - 16:00:56
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:29

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Citation

Marc Zelsmann, Philippe Bézard, Xavier Chevalier, Antoine Legrain, Christophe Navarro, et al.. Graphoepitaxy integration and pattern transfer of lamellar silicon-containing high-chi block copolymers. SPIE Advanced Lithography, 2018, San José, United States. ⟨10.1117/12.2299337⟩. ⟨hal-01954390⟩

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