Procédé pour empécher la formation de résidus sur une couche à base d'un métal après exposition de cette couche à un plasma contenant du fluor - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2009

Procédé pour empécher la formation de résidus sur une couche à base d'un métal après exposition de cette couche à un plasma contenant du fluor

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01906116

Soumis le : vendredi 26 octobre 2018-14:25:10

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:27

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01906116 , version 1 (26-10-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01906116 , version 1

Citer

T. David, N. Possémé, R. Bouyssou, T. Chevolleau. Procédé pour empécher la formation de résidus sur une couche à base d'un métal après exposition de cette couche à un plasma contenant du fluor. France, N° de brevet: 950503. 2009. ⟨hal-01906116⟩

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