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Brevet

Procédé pour empécher la formation de résidus sur une couche à base d'un métal après exposition de cette couche à un plasma contenant du fluor

Type de document :
Brevet
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01906116
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : vendredi 26 octobre 2018 - 14:25:10
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01906116, version 1

Collections

Citation

T. David, N. Possémé, R. Bouyssou, T. Chevolleau. Procédé pour empécher la formation de résidus sur une couche à base d'un métal après exposition de cette couche à un plasma contenant du fluor. France, N° de brevet: 950503. 2009. ⟨hal-01906116⟩

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