Brevet
Année : 2009
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01906116
Soumis le : vendredi 26 octobre 2018-14:25:10
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:27
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01906116 , version 1
Citer
T. David, N. Possémé, R. Bouyssou, T. Chevolleau. Procédé pour empécher la formation de résidus sur une couche à base d'un métal après exposition de cette couche à un plasma contenant du fluor. France, N° de brevet: 950503. 2009. ⟨hal-01906116⟩
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