A route for industry-compatible directed self-assembly of high-chi PS-PDMS block copolymers - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2016

A route for industry-compatible directed self-assembly of high-chi PS-PDMS block copolymers

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882740

Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-13:07:20

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:08

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01882740 , version 1 (27-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882740 , version 1

Citer

S. Böhme, C. Girardot, J. Garnier, J. Arias-Zapata, S. Arnaud, et al.. A route for industry-compatible directed self-assembly of high-chi PS-PDMS block copolymers. SPIE Advanced Lithography conference – Alternative Lithographic Technologies, Feb 2016, San Jose, United States. ⟨hal-01882740⟩

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