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A route for industry-compatible directed self-assembly of high-chi PS-PDMS block copolymers

Type de document :
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Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882740
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 13:07:20
Dernière modification le : mardi 1 septembre 2020 - 15:24:04

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882740, version 1

Citation

S. Böhme, C. Girardot, J. Garnier, J. Arias-Zapata, S. Arnaud, et al.. A route for industry-compatible directed self-assembly of high-chi PS-PDMS block copolymers. SPIE Advanced Lithography conference – Alternative Lithographic Technologies, Feb 2016, San Jose, United States. ⟨hal-01882740⟩

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