Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882441
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-09:08:13
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:53:28
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01882441 , version 1
Citer
Erwine Pargon. New plasma technologies for atomic scale precision etching. 13 ième Journées d’échanges des réseaux plasma froids, Oct 2016, La Rochelle, France. ⟨hal-01882441⟩
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