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Communication dans un congrès

New plasma technologies for atomic scale precision etching

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882441
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 09:08:13
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882441, version 1

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Citation

Erwine Pargon. New plasma technologies for atomic scale precision etching. 13 ième Journées d’échanges des réseaux plasma froids, Oct 2016, La Rochelle, France. ⟨hal-01882441⟩

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