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Alternative nano-structured thin-film materials used as durable thermal nanoimprint lithography templates

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01881985
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 26 septembre 2018 - 14:52:10
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

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M. Bossard, J Boussey, B Le Drogoff, M. Chaker. Alternative nano-structured thin-film materials used as durable thermal nanoimprint lithography templates. Nanotechnology, Institute of Physics, 2016, 27 (7), ⟨10.1088/0957-4484/27/7/075302⟩. ⟨hal-01881985⟩

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