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Communication dans un congrès

Measuring IVDF through high-aspect holes in pulsed ICP plasma

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878046
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018 - 15:47:22
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01878046, version 1

Collections

Citation

G. Cunge, M Darnon, J Dubois, P. Bézard, O. Mourey, et al.. Measuring IVDF through high-aspect holes in pulsed ICP plasma. 68th Gaseous Electronics Conference (GEC), Oct 2015, Honolulu, United States. ⟨hal-01878046⟩

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