Measuring IVDF through high-aspect holes in pulsed ICP plasma
G. Cunge
(1)
,
M Darnon
(1)
,
J Dubois
(1)
,
P. Bézard
(1)
,
O. Mourey
(1)
,
C. Petit-Etienne
(1)
,
L. Vallier
(1)
,
E. Despiau-Pujo
(1)
,
O. Joubert
(1)
,
N. Sadeghi
(2)
M Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
C. Petit-Etienne
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745766
- IdHAL : camille-petit-etienne
E. Despiau-Pujo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 754756
- IdHAL : emilie-despiau-pujo
- ORCID : 0000-0002-7761-6343
- IdRef : 142894265