Communication Dans Un Congrès
Année : 2025
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-05454241
Soumis le : lundi 12 janvier 2026-14:38:03
Dernière modification le : mardi 13 janvier 2026-03:32:57
Citer
Rita Chidoub, Aurélie Le Pennec, Florent Dettoni, Ahmed Gharbi, Bertrand Le Gratiet, et al.. Define a measurement standard to monitor local variabilities of immersion lithography baseline for photonic devices. SPIE 2025 - Metrology, Inspection, and Process Control XXXIX, Feb 2025, San Jose, United States. pp.76, ⟨10.1117/12.3051034⟩. ⟨hal-05454241⟩
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