Selective Deposition with Spatial Atomic Layer Deposition - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Selective Deposition with Spatial Atomic Layer Deposition

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04746505 , version 1 (21-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04746505 , version 1

Citer

David Munoz-Rojas. Selective Deposition with Spatial Atomic Layer Deposition. Area Selective Deposition workshop 2019, Sep 2019, Grenoble, France. ⟨hal-04746505⟩
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