Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
Anne-Christine Jacob : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04735632
Soumis le : lundi 14 octobre 2024-15:55:15
Dernière modification le : mardi 15 octobre 2024-03:19:17
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04735632 , version 1
Citer
David Munoz-Rojas. Spatial Atomic Layer Deposition. Much more that scalable fast ALD. EC16 Reunion Nacional de Electrocéamica, Jun 2023, Jaca, Spain. ⟨hal-04735632⟩
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