ALD techniques for thin film oxides - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

ALD techniques for thin film oxides

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04735569 , version 1 (14-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04735569 , version 1

Citer

David Munoz-Rojas. ALD techniques for thin film oxides. The Power of Interfaces 2024 (PoI2024), May 2024, Palma de Majorque, Spain. ⟨hal-04735569⟩
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