Deposition of functional thin films by Spatial Atomic Layer Deposition - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Deposition of functional thin films by Spatial Atomic Layer Deposition

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04638872 , version 1 (08-07-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04638872 , version 1

Citer

David Munoz-Rojas. Deposition of functional thin films by Spatial Atomic Layer Deposition. PACE Young Scientists Conference 2022, Oct 2022, Luxembourg, Luxembourg. ⟨hal-04638872⟩
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