Fast open-air deposition of nanomertic components for (opto)electronic devices through Spatial Atomic Layer Deposition - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Fast open-air deposition of nanomertic components for (opto)electronic devices through Spatial Atomic Layer Deposition

David Munoz-Rojas
Laboratoire des matériaux et du génie physique

Domaines

Matériaux

Anne-Christine Jacob  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04638795

Soumis le : lundi 8 juillet 2024-15:38:08

Dernière modification le : lundi 16 décembre 2024-15:37:15

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Dates et versions

hal-04638795 , version 1 (08-07-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04638795 , version 1

Citer

David Munoz-Rojas. Fast open-air deposition of nanomertic components for (opto)electronic devices through Spatial Atomic Layer Deposition. MRS Spring 2022, Materials Research Society, May 2022, Honololu, United States. ⟨hal-04638795⟩

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