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Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences
Année : 2023
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04597144
Soumis le : samedi 1 juin 2024-19:19:04
Dernière modification le : lundi 1 juillet 2024-15:33:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04597144 , version 1
- DOI : 10.1080/10408436.2023.2273463
Citer
Clément Lausecker, David Muñoz-Rojas, Matthieu Weber. Atomic layer deposition (ALD) of palladium: from processes to applications. Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, 2023, pp.1-23. ⟨10.1080/10408436.2023.2273463⟩. ⟨hal-04597144⟩
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