Diagnostics of industrial plasma reactors to assist process development - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2023
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04511388 , version 1 (19-03-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04511388 , version 1

Citer

G. Cunge, M. Kogelschatz, E. Pargon, C. Petit-Etienne, O. Joubert, et al.. Diagnostics of industrial plasma reactors to assist process development. 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France. ⟨hal-04511388⟩
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