Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04511388
Soumis le : mardi 19 mars 2024-15:28:14
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-10:56:49
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04511388 , version 1
Citer
G. Cunge, M. Kogelschatz, E. Pargon, C. Petit-Etienne, O. Joubert, et al.. Diagnostics of industrial plasma reactors to assist process development. 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France. ⟨hal-04511388⟩
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