Correlations between first-principles calculations and electric properties of HfO 2 :Al 2 O 3 alloys for metal–insulator–metal (MIM) capacitor applications

O. Khaldi; F. Jomni; P. Gonon

doi:10.1063/5.0025130

Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2020

Correlations between first-principles calculations and electric properties of HfO 2 :Al 2 O 3 alloys for metal–insulator–metal (MIM) capacitor applications

, , (1)

1

O. Khaldi

Fonction : Auteur
PersonId : 1192493
ORCID : 0000-0001-6886-4567

F. Jomni

Fonction : Auteur
PersonId : 1192494
ORCID : 0000-0001-5950-3460

P. Gonon

Fonction : Auteur
PersonId : 1192495
ORCID : 0000-0003-1784-7649

Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03867656

Soumis le : mercredi 23 novembre 2022-14:17:15

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:09:32

Dates et versions

hal-03867656 , version 1 (23-11-2022)

Identifiants

HAL Id : hal-03867656 , version 1
DOI : 10.1063/5.0025130

Citer

O. Khaldi, F. Jomni, P. Gonon. Correlations between first-principles calculations and electric properties of HfO 2 :Al 2 O 3 alloys for metal–insulator–metal (MIM) capacitor applications. Journal of Applied Physics, 2020, 128 (13), pp.134101. ⟨10.1063/5.0025130⟩. ⟨hal-03867656⟩

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