Procédé de réalisation d’une couche à base de nitrure d’aluminium (AlN) sur une structure à base de silicium ou de matériaux III-V - Université Grenoble Alpes
Brevet Année : 2021

Procédé de réalisation d’une couche à base de nitrure d’aluminium (AlN) sur une structure à base de silicium ou de matériaux III-V

M. Legallais
  • Fonction : Auteur
B. Salem
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
T. Baron
Laboratoire des technologies de la microélectronique
M. Plissonnier
  • Fonction : Auteur
R. Gwoziecki
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03780205

Soumis le : lundi 19 septembre 2022-10:30:07

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-09:51:34

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03780205 , version 1 (19-09-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03780205 , version 1

Citer

M. Legallais, B. Salem, T. Baron, M. Plissonnier, R. Gwoziecki. Procédé de réalisation d’une couche à base de nitrure d’aluminium (AlN) sur une structure à base de silicium ou de matériaux III-V. France, Patent n° : Patent FR2001978, PCT/EP2021054721, WO2021170739. 2021. ⟨hal-03780205⟩

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