Procédé de nanostructuration d’un substrat - Université Grenoble Alpes
Brevet Année : 2019

Procédé de nanostructuration d’un substrat

X. Chevalier
  • Fonction : Auteur
Arkema
M. Zelsmann
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
G. Pound-Lana
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
C. Navarro
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03778218

Soumis le : jeudi 15 septembre 2022-14:50:14

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:37

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03778218 , version 1 (15-09-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03778218 , version 1

Citer

X. Chevalier, M. Zelsmann, G. Pound-Lana, C. Navarro. Procédé de nanostructuration d’un substrat. France, Patent n° : N° FR1915802. 2019. ⟨hal-03778218⟩

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