Brevet
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03778177
Soumis le : jeudi 15 septembre 2022-14:16:58
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:35
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03778177 , version 1
Citer
Xavier Chevalier, Christophe Navarro, Marc Zelsmann, Cindy Gomes Correia, Guillaume Fleury. Procédé de préparation d'un film de copolymère à blocs destiné à la création d'un masque de nanolithographie. France, N° de brevet: WO2020234549 / FR3096281. 2019. ⟨hal-03778177⟩
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