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Brevet Année : 2019

Procédé de préparation d'un film de copolymère à blocs destiné à la création d'un masque de nanolithographie

Xavier Chevalier
  • Fonction : Auteur
Christophe Navarro
  • Fonction : Auteur
Cindy Gomes Correia
  • Fonction : Auteur
Guillaume Fleury
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03778177 , version 1 (15-09-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03778177 , version 1

Citer

Xavier Chevalier, Christophe Navarro, Marc Zelsmann, Cindy Gomes Correia, Guillaume Fleury. Procédé de préparation d'un film de copolymère à blocs destiné à la création d'un masque de nanolithographie. France, N° de brevet: WO2020234549 / FR3096281. 2019. ⟨hal-03778177⟩
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