Raman spectroscopy and ellipsometry hybridization: application to GeSbTe crystallization measurement for in line control - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Raman spectroscopy and ellipsometry hybridization: application to GeSbTe crystallization measurement for in line control

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03777907

Soumis le : jeudi 15 septembre 2022-10:59:49

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:50:22

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03777907 , version 1 (15-09-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03777907 , version 1

Citer

Jon De Vecchy, Jean-Herve Tortai, Jérémy Moeyaert, Yannick Le Friec, Delphine Le Cunff, et al.. Raman spectroscopy and ellipsometry hybridization: application to GeSbTe crystallization measurement for in line control. ECASIA 2022, May 2022, Limerick, Ireland. ⟨hal-03777907⟩

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