Controlled SOI nanopatterning for GaN pendeo-epitaxy - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue Micro and Nano Engineering Année : 2022

Dates et versions

hal-03777025 , version 1 (14-09-2022)

Identifiants

Citer

Mrad Mrad, Kilian Baril, Matthew Charles, Jesus Zuniga Perez, Sébastien Labau, et al.. Controlled SOI nanopatterning for GaN pendeo-epitaxy. Micro and Nano Engineering, 2022, 14, pp.100110. ⟨10.1016/j.mne.2022.100110⟩. ⟨hal-03777025⟩
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