High k Dielectrics for MIM Architecture: From Capacitors to Non-volatile Memories Applications - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

High k Dielectrics for MIM Architecture: From Capacitors to Non-volatile Memories Applications

C. Vallée
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
P. Gonon
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
W. Jeona
  • Fonction : Auteur
M. Saadi
  • Fonction : Auteur
C. Mannequin
  • Fonction : Auteur
T. Wakrim
  • Fonction : Auteur
C. Nail
  • Fonction : Auteur
A. Chaker
  • Fonction : Auteur
R. Vallat
  • Fonction : Auteur
Y. Taguhi
  • Fonction : Auteur
J. Moustapha
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
V. Pesce
  • Fonction : Auteur
S. Belahcen
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
B. Pelissier
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
G. Molas
  • Fonction : Auteur
M. Bonvalot
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
A. Bsiesy
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449448

Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-15:51:50

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-10:51:59

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03449448 , version 1 (25-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03449448 , version 1

Citer

C. Vallée, P. Gonon, W. Jeona, M. Saadi, C. Mannequin, et al.. High k Dielectrics for MIM Architecture: From Capacitors to Non-volatile Memories Applications. ICMCTF 2021 - 47th International Conference On Metallurgical Coatings & Thin Films, 2021, conference virtuelle, France. ⟨hal-03449448⟩

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