Communication Dans Un Congrès
Année : 2021
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449168
Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-15:24:41
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-10:44:46
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03449168 , version 1
Citer
Jennifer Not, Constance Glaichenhaus, Tony Maindron, Lucie Mazet, Marceline Bonvalot, et al.. TiO2 selective deposition on TiN by in situ plasma-induced passivation of SiO2 during PEALD growth. 7ème edition du colloque RAFALD, Nov 2021, Marseille, France. ⟨hal-03449168⟩
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