Communication Dans Un Congrès
Année : 2021
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449155
Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-15:21:41
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-10:44:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03449155 , version 1
Citer
Moustapha Jaffal, Guy Scoggin, Gauthier Lefevre, Rémy Gassilloud, Nicolas Posseme, et al.. Origin of fluorine cross-contamination in the Topographically Selective Deposition of Ta2O5 using super-cycles of PEALD and Quasi-ALE. 7ème edition du colloque RAFALD, Nov 2021, Marseille, France. ⟨hal-03449155⟩
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