Origin of fluorine cross-contamination in the Topographically Selective Deposition of Ta2O5 using super-cycles of PEALD and Quasi-ALE - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Origin of fluorine cross-contamination in the Topographically Selective Deposition of Ta2O5 using super-cycles of PEALD and Quasi-ALE

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449155

Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-15:21:41

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-10:44:05

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Dates et versions

hal-03449155 , version 1 (25-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03449155 , version 1

Citer

Moustapha Jaffal, Guy Scoggin, Gauthier Lefevre, Rémy Gassilloud, Nicolas Posseme, et al.. Origin of fluorine cross-contamination in the Topographically Selective Deposition of Ta2O5 using super-cycles of PEALD and Quasi-ALE. 7ème edition du colloque RAFALD, Nov 2021, Marseille, France. ⟨hal-03449155⟩

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