Origin of fluorine cross-contamination in the Topographically Selective Deposition of Ta2O5 using super-cycles of PEALD and Quasi-ALE - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Origin of fluorine cross-contamination in the Topographically Selective Deposition of Ta2O5 using super-cycles of PEALD and Quasi-ALE

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03449155 , version 1 (25-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03449155 , version 1

Citer

Moustapha Jaffal, Guy Scoggin, Gauthier Lefevre, Rémy Gassilloud, Nicolas Posseme, et al.. Origin of fluorine cross-contamination in the Topographically Selective Deposition of Ta2O5 using super-cycles of PEALD and Quasi-ALE. 7ème edition du colloque RAFALD, Nov 2021, Marseille, France. ⟨hal-03449155⟩
15 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More