Multifunctionnal Top-Coats Strategy for DSA of High-chi Block Copolymers - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Multifunctionnal Top-Coats Strategy for DSA of High-chi Block Copolymers

X. Chevalier
  • Fonction : Auteur
C. Gomes Correia
  • Fonction : Auteur
G. Pound-Lana
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
P. Bézard
  • Fonction : Auteur
M. Sérégé
  • Fonction : Auteur
C. Camille Petit-Etienne
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
G. Gay
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
G. Cunge
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
B. Cabannes-Boué
  • Fonction : Auteur
C. Nicolet
  • Fonction : Auteur
C. Navarro
  • Fonction : Auteur
I. Cayrefourcq
  • Fonction : Auteur
M. Müller
  • Fonction : Auteur
G. Hadziioannou
I. Iliopoulos
  • Fonction : Auteur
G. Fleury
M. Zelsmann
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03448417

Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-10:27:20

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-10:56:49

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03448417 , version 1 (25-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03448417 , version 1

Citer

X. Chevalier, C. Gomes Correia, G. Pound-Lana, P. Bézard, M. Sérégé, et al.. Multifunctionnal Top-Coats Strategy for DSA of High-chi Block Copolymers. 38th International Conference of Photopolymer Science and Technology, Jun 2021, On line conférence, France. ⟨hal-03448417⟩

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