Multifunctional Top-Coats Strategy for DSA of High-χ Block Copolymers - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Photopolymer Science and Technology Année : 2021

Multifunctional Top-Coats Strategy for DSA of High-χ Block Copolymers

Xavier Chevalier
Célia Nicolet
  • Fonction : Auteur
Christophe Navarro
  • Fonction : Auteur
Ian Cayrefourcq
  • Fonction : Auteur

Résumé

A concept of patternable top-coats dedicated to directed self-assembly of high-χ block copolymers is detailed, where the design enables a crosslinking reaction triggered by thermal or photo-activation. Nanostructured BCP areas with controlled domains orientation are selected through a straightforward top-coat lithography step with unique integration pathways. Additionally, the crosslinked nature of the material enables the suppression of the BCP dewetting, while exhibiting exceptional capabilities for the construction of 3D stacks.
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Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03448382 , version 1 (27-11-2021)

Identifiants

Citer

Xavier Chevalier, Cindy Gomes Correia, Gwenaelle Pound-Lana, Philippe Bézard, Matthieu Sérégé, et al.. Multifunctional Top-Coats Strategy for DSA of High-χ Block Copolymers. Journal of Photopolymer Science and Technology, 2021, 34 (1), pp.11-16. ⟨10.2494/photopolymer.34.11⟩. ⟨hal-03448382⟩
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