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Study of physisorption phenomena of chemical species on 300 mm Si wafers during controlled mini-environment transfers between microelectronic equipments

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02917565
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 août 2020 - 14:43:18
Dernière modification le : vendredi 21 août 2020 - 03:19:04

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B. Pelissier, S. Labau, M. Martin, C. Petit-Etienne, H. Fontaine, et al.. Study of physisorption phenomena of chemical species on 300 mm Si wafers during controlled mini-environment transfers between microelectronic equipments. Microelectronic Engineering, Elsevier, 2020, 231, pp.111401. ⟨10.1016/j.mee.2020.111401⟩. ⟨hal-02917565⟩

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