Procédé de lithographie par auto-assemblage dirigé - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2019

Procédé de lithographie par auto-assemblage dirigé

X. Chevalier
  • Fonction : Auteur
C. Gomes Correia
  • Fonction : Auteur
G. Fleury
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02916178 , version 1 (17-08-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02916178 , version 1

Citer

X. Chevalier, M. Serege, C. Gomes Correia, M. Zelsmann, G. Fleury. Procédé de lithographie par auto-assemblage dirigé. France, Patent n° : FR1911521. 2019. ⟨hal-02916178⟩
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