Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02916151
Soumis le : lundi 17 août 2020-13:56:13
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:42:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02916151 , version 1
Citer
Nicolas Loubet, Camille Petit-Etienne, Cecile Jenny, Erwine Pargon. CYCLING OF IMPLANTATION STEP AND REMOTE PLASMA PROCESS STEP FOR NITRIDE SPACER ETCHING APPLICATIONS.. Journées nationales sur les technologies émergentes en micro-nano fabrication, (JNTE2019), Nov 2019, Grenoble, France. ⟨hal-02916151⟩
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