CYCLING OF IMPLANTATION STEP AND REMOTE PLASMA PROCESS STEP FOR NITRIDE SPACER ETCHING APPLICATIONS. - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

CYCLING OF IMPLANTATION STEP AND REMOTE PLASMA PROCESS STEP FOR NITRIDE SPACER ETCHING APPLICATIONS.

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Physique [physics]

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Soumis le : lundi 17 août 2020-13:56:13

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:42:12

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Dates et versions

hal-02916151 , version 1 (17-08-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02916151 , version 1

Citer

Nicolas Loubet, Camille Petit-Etienne, Cecile Jenny, Erwine Pargon. CYCLING OF IMPLANTATION STEP AND REMOTE PLASMA PROCESS STEP FOR NITRIDE SPACER ETCHING APPLICATIONS.. Journées nationales sur les technologies émergentes en micro-nano fabrication, (JNTE2019), Nov 2019, Grenoble, France. ⟨hal-02916151⟩

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