Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

Etch process cleaning to improve wafer to wafer reproducibility

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02624143
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 26 mai 2020 - 10:44:31
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:17

Identifiants

  • HAL Id : hal-02624143, version 1

Collections

Citation

T. Chevolleau, C. Petit-Etienne, Gilles Cunge, Erwine Pargon, L. Vallier, et al.. Etch process cleaning to improve wafer to wafer reproducibility. ENRIS 2019 (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium), 2019, UNIVERSITY OF TWENTE, Netherlands. ⟨hal-02624143⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

46